丁香六月久久婷婷开心,五月天中文字幕mv在线 ,久久er热在这里只有精品66

新聞資訊

聯系格丹納

廣州格丹納儀器有限公司

地址：廣州市南沙區大崗鎮智新一路8號聯東U谷廣州南沙國際企業港7棟5樓

產品咨詢：13392693259

耗材電話：18998328368

售后服務：020-87684117

傳真：020-87684846

Email：info@gdana.com

網址：http://www.kh-auto.com/

恒溫電熱板消解處理測定電子級多晶硅基體金屬雜質含量

2023.01.06

電子級多晶硅是國家發展集成電路產業的基礎原材料，是純度最高的多晶硅材料。相對于太陽能級多晶硅99.9999%純度，電子級多晶硅的純度要求達到99.999999999%。電子級多晶硅其中的雜質含量更是得以0.1ppb的數量級計。本文參照標準《GB／T 37049-2018 電子級多晶硅中基體金屬雜質含量的測定電感耦合等離子體質譜法》使用實驗電熱板HT-300消解、ICP-MS測定電子級多晶硅中鐵、鉻、鎳、銅、鋅、鈉的含量。

PS：本方法適用于基體金屬雜質小于5ng/g范圍內鐵、鉻、鎳、銅、鋅、鈉含量的測定。本方法對于鐵、鉻、鎳、銅、鋅、鈉六種元素的總檢出限至少應小于0.4ng/g。

實驗部分

1.儀器和耗材
實驗電熱板HT-300（玻璃陶瓷臺面耐腐蝕，格丹納）
燒杯（50ml）
電子天平
ICP-MS

2.試劑
純水：符合SEMIF63的規定。
硝酸：質量分數65.0%~68.0%，每種金屬雜質含量均低于10ng/L。
氫氟酸：質量分數30.0%~50.0%，每種金屬雜質含量均低于10ng/L。
硫酸：質量分數95.0%~98.0%，每種金屬雜質含量均低于10ng/L。
標準貯存溶液：鐵、鉻、鎳、銅、鋅、鈉、釔、鈷濃度均為1g/L，采用國內外可以量值溯源的有證標準物質。
硫酸：用純水將上述硫酸稀釋至質量分數為16.7%。
硝酸：硝酸、純水的體積比為3：97或其他適當比例。
消解液：硝酸、氫氟酸的體積比為1：2或其他適當比例。

3.樣品制備
將電子級多晶硅樣品破碎成便于溶解的小塊，最大直徑約5mm~10mm，破碎過程中應嚴格避免金屬沾污。將樣品在一定比例的硝酸、氫氟酸溶液中消解清洗，剝離全部表面層后再用純水洗凈。將樣品放置在燒杯中，置于實驗電熱板HT-300上烘干至恒重。

4.測試步驟

1、在電子天平上準確稱取0.5~1.0g試樣（精確至0.0001g）；

2、將樣品置于具有適當容積的、潔凈的敞口容器中，加入適量的消解液，置于實驗電熱板HT-300上加熱使試料溶解后，在160℃~170℃下將溶液蒸發至近干，必要時重復消解過程。室溫冷卻后，加入適量的硝酸定容（2mL~5mL，滿足儀器檢測即可），充分搖動使殘渣完全溶解至試液為澄清透明，搖勻。

3、進行儀器分析，將樣品空白溶液、樣品溶液和標準系列工作溶液分別在ICP-MS上進行分析，以釔和鈷標準工作溶液為內標，用內標法校正。樣品中各待分析元素和內標元素質量數的選擇見下表：

4、分析結果的計算

各金屬雜質的含量以其質量分數ωx表示，按以下公式計算：

式中：
ωx——樣品中鐵、鉻、鎳、銅、鋅、鈉的質量分數，單位為納克每克（ng/g）；
ρ1——空白溶液中待測元素的質量濃度，單位為納克每毫升（ng/mL）；
ρ2——樣品溶液中待測元素的質量濃度，單位為納克每毫升（ng/mL）；
V——樣品溶液的體積，單位為毫升（mL）；
m——試料的質量，單位為克（g）。

結論
電子級硅材料的分析對設備、試驗人員、原料、方法等方面要求高。實驗中使用的加熱消解設備是格丹納實驗電熱板HT-300，其臺面是玻璃陶瓷材質，耐酸堿之余還容易清潔，針對氫氟酸還配置保護膜，防止滴落腐蝕臺面。而且電熱板的面積無固定限制，可以根據自己日常處理樣品的多少而自由選擇。在處理的過程中還可以根據時機，添加需要的試劑，避免了密閉容器不容易添加試劑的苦惱。在處理中由于可以方便的看出所處理樣品的狀態、消解程度以及剩余樣品量的多少。

上一篇：實驗室電熱板消解測定土壤中鉈金屬元素含量

下一篇：恒溫電熱板鋰電池石墨類負極材料樣品前處理方案

精品国产一区二区三区吸毒丨尤物亚洲国产亚综合在线区丨九九精品无码专区免费丨无码伊人66久久大杳蕉网站谷歌丨亚洲精品偷拍无码不卡av

新聞資訊

推薦新聞

聯系格丹納

廣州格丹納儀器有限公司

恒溫電熱板消解處理測定電子級多晶硅基體金屬雜質含量

推薦產品

N810免水全自動凱氏定氮儀

D4智能石墨消解儀（39位）

HT-300實驗電熱板

也許您還想了解

13392693259

關于格丹納

產品展示

應用領域

新聞資訊

聯系格丹納